微量氧傳感器探頭裝在樣品處理箱內，用帶溫控的防爆電加熱器加熱。箱子安裝在取樣點近旁，樣品取出后由電伴熱保溫管線送至箱內，經減壓穩流后送給探頭檢測。兩個浮子流量計分別用來調節指示旁通流量和分析流量，分析流量計帶有電接點輸出，當樣品流量過低時發出報警信號。開關閥的作用是防止樣氣壓力過高對微量氧傳感器造成損害，因為微量氧傳感器的耐壓能力有限，有的產品最高耐壓能力僅為0.035 MPa。被測氣體中不能含有油類組分和固體顆粒物，以免引起滲透膜阻塞和污染。被測氣體中也不應含有硫化物、磷化物或酸性氣體組分，這些組分會對化學電池特別是堿性電池造成危害。
微量氧分析儀工作流程示意圖
校準方法：
微量氧分析儀的校準方法有以下兩種∶
（1）用瓶裝標準氣校準
分別用零點氣和量程氣校準儀器的零點和量程。零點氣采用高純氮，其氧含量應小于0.5 ppmV。微量氧量程氣不能用鋼瓶盛裝，因為容易發生吸附效應或氧化反應而使其含量發生變化，應采用內壁經過處理的鋁合金氣瓶盛裝，最好現用現配，不宜存放。
（2）用電解配氧法校準
電解配氧法是配制氧量標準氣的一種簡易和常用的方法，有些電化學氧分析器附帶有電解氧配氣裝置，可方便地對儀器進行校準，此法簡單、可靠并具有較高的準確度。
當儀器測量時，氣樣經進口針閥、三通閥直接進入微量氧傳感器。當儀器校準時，純凈的氣樣經三通閥導入脫氧瓶，得到氧濃度極低而穩定的所謂“零點氣"。脫氧后的“零點氣"以一定的流速通過電解池時，與電解產生的定量氧配成已知氧濃度的標準氣，用以標準儀器的指示值。
