濕度傳感器的種類很多,沒有統一分類標準。按探測功能來分,可分為濕度型、相對濕度型和結露型,期中濕度型為數甚少;按傳感器的輸出信號來分,可分為電阻型、電容型、電抗型和頻率型等,期中電阻型zui多;按濕敏元件工作機理來分,可分為親合力型和非水分子親合力型兩大類,其中水分子親合力型應用更廣泛;按材料來分,可分為陶瓷型。有機高分子型,半導體型和電解質型等。
利用陶瓷濕度敏感材料制成的濕度傳感器稱為陶瓷濕度傳感器。陶瓷濕度敏感材料主要是利用陶瓷燒結制備時形成的多孔結構,吸附或凝聚水分子作用導電通路,從而改變陶瓷本身的電導率或電容量。利用多孔結構的陶瓷的電導率或電容量隨外界濕度變化的特點,可以制成濕度傳感器。
陶瓷濕度敏感材料按其結構可以分為尖晶石型、金紅石型、鈣鈦礦型等;按其感濕特性大體可以分為電阻型、電容型和阻抗型等;按其工藝特點可以分為燒結型、厚膜型、薄膜型和MOS型等。
陶瓷濕度傳感器的產品有MgCr2O4- TiO2(鉻酸鎂-二氧化鈦系)、ZnO-Cr203(氧化鋅一三氧化二鉻)系、ZrO2系、AL2O3系、 TiO2-V2O5(二氧化鈦)系、Fe3O4系。_它們的感溫特征量大多數為電阻,除Fe3O4系外,都為負特牲濕敏傳感器,即隨著環境濕度的增加電阻值降低。
陶瓷濕度管感器有很多優點,例如,測濕范圍寬,基本上可實現全濕范圍內的濕度測量;工作溫度高,常溫濕度傳感器的工作溫度在150度以下,而高溫濕度傳感器的工作溫度可達到800度;響應時間短,多孔陶瓷的表面積大,易于吸濕和脫濕;濕滯小、抗沾污、可高溫清洗;靈敏度高、穩定性好。